Szczegóły publikacji
Autorzy | Michał Stȩpniak, Sylwia Owczarek, Adam Szyszka, Mateusz Wośko, Regina Paszkiewicz |
Temat publikacji | Characterization of the parasitic masking layer formed during GaN SA-MOVPE using PECVD SiO2 masks |
Magazyn | Applied Surface Science |
Nakład | 640 |
Rok publikacji | 2023 |
Strony | 158325,1-8 |