Szczegóły publikacji
| Autorzy | R. Wasielewski, B. V. Yakshinskiy, M. N. Hedhili, A. Ciszewski, T. E. Madey |
| Temat publikacji | Surface chemistry of Ru: relevance to optics lifetime in EUVL |
| Magazyn | 23rd European Mask and Lithography Conference, Proc. of SPIE Vol.6533 |
| Nakład | |
| Rok publikacji | 2007 |
| Strony | 653316-1/12 |